如何用激光干涉儀測量五軸機床平移軸直線(xiàn)度誤差
激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、最高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現線(xiàn)性測長(cháng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測量軟件配合下,可實(shí)現線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測,以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,如振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等。激光干涉儀典型的應用就是測量機床精度,本文講解如何使用激光干涉儀測量五軸機床平移軸直線(xiàn)度誤差。對于平移...